硅与其他。资料中半导体。集成资料在。电路集成电路
。比较使用中的资料中比较可从以下维度打开剖析
: 一 、根底特性比照。集成 资料。 | 带隙(eV)。比较 | 电子迁移率(cm²/(V·s)) 。资料中 | 热导率(W/(m·K)) 。集成 | 击穿电场(MV/cm)。电路 |
---|
。比较硅(Si)。资料中
。集成 | 1.12
。电路 | 1500。 | 150。 | 0.3。 | 锗(Ge)。 | 0.67 。 | 3900。 | 60 。 | 0.1。 | 砷化镓(GaAs)。 | 1.42。 | 8500
。 | 55 。 | 0.4。 | 碳化硅(SiC)。 | 3.26。 | 900 。 | 490。 | 3.0 。 | 氮化镓。(GaN) 。 | 3.4。 | 2000
。 | 130
。 | 3.3
。 |
二
、中心优势范畴。 。硅资料
。。 。干流逻辑芯片 。:全球95%的集成电路选用硅基制作,因其本钱低(12英寸晶圆本钱仅为砷化镓的1/10) 、工艺老练(支撑3nm制程)14
。 。集成度优势
。 :硅晶圆直径可达300mm
,单晶缺点率低于0.1/cm² ,合适超大规模集成814。 。氧化层特性。:天然生成的SiO₂绝缘层(介电常数3.9)是。MOSFET 。器材的抱负介质28。
。化合物半导体
。
。 。高频使用
。 :砷化镓电子迁移率是硅的5.7倍,适用于。5G 。毫米波(>30GHz)器材49。 。功率器材。 :碳化硅击穿电场强度达硅的10倍,可使电动汽车 。逆变器
。损耗下降70%112 。 。光电。转化。:磷化铟(InP)在光。通讯
。波段(1310/1550nm)量子功率超90%4 。 三
、要害功能短板。 。硅的局限性。。 禁带宽度窄导致高温漏电流大(>150℃功能骤降)911。 高频特性差(截止频率<100GHz),不合适太赫兹使用411。 。代替资料应战。。
。本钱问题。
:6英寸碳化硅晶圆价格是硅晶圆的20倍12。
。晶圆尺度。 :氮化镓量产晶圆最大直径仅8英寸 ,约束产能提高12 。 。工艺兼容性 。:砷化镓器材需特别生产线
,与硅基产线不通用4。 四、技能演进趋势。
。混合集成。:硅基CMOS与氮化镓。射频。器材3D堆叠(如苹果5G射频模组)12
。 。异质外延
。
:在硅衬底上成长GaN薄膜以下降本钱(已完成200mm工艺)12
。 。量子核算。:硅-28同位素自旋量子比特相干时刻打破1秒11。 当时硅仍主导逻辑芯片商场,而第三代半导体在功率/射频范畴加快浸透,构成互补共存格式48。
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